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SCA_TI_D Seite 3 von 6
2 Allgemeine Eigenschaften / Technologie
2.2 Schock-Beständigkeit des Sensorelementes
Die auf kapazitivem Messprinzip basierenden Messelemente zeichnen sich durch hohe Genauigkeit
und Schlagfestigkeit aus. Dies wird unter anderem durch die spezielle 3D-Mikromechanik-Technologie
mit hochreinem Silizium erreicht. Durch den speziellen Aufbau sind selbst nach harten Schlägen
(20’000g) keine Drifts wegen Deformation der Prüfmasse zu erwarten.
2.3 Reproduzierbarkeit und Langzeitstabilität
Beim SCA61T beispielsweise werden Reproduzierbarkeiten bis 0,01° oder 0,2mg und
Langzeitstabilitäten in derselben Grössenordnung erreicht. Die bei schnellen Temperatur-
veränderung entstehende Hysterese (z.B. 0,02°) bildet sich in kurzer Zeit wieder auf 0 zurück.
2.4 Auflösung
Die als Doppelkondensator ausgebildeten Messelemente sind extrem rauscharm und geben ein
grosses Nutzsignal ab. Der grösste Teil des Rauschens wird durch die Auswerte-Elektronik
verursacht. Es sind Auflösungen bis 0,001° oder 15µg/√Hz erreichbar.
2.5 Reduzierte Vibrationsempfindlichkeit durch Gasdämpfung
Die Einflüsse von Vibrationen wirken bei Neigungsmessungen oft störend. Die Gasdämpfung des
Messelementes filtert einen Grossteil dieser Störungen aus und verhindert überdies ein Über-
schwingen der Prüfmasse. Bei Neigungssensoren werden Vibrationen gedämpft, bei
Vibrationssensoren die Eigenresonanz. Deshalb muss für jede Anwendung der geeignete Sensor
gewählt werden.
2.6 Aufbau des Sensor-Elements
Silizium-Wafer
mit Metallfilm
(Kondensator)
Silizium-Wafer
mit Metallfilm
(Kondensator)
Pendel/Prüfmasse
2,9mm
1.95m
Messrichtung