Brochure
26
Beschreibung der Bauteile
Konstruktion
Erfassungsprinzip
2
E
IN
1
S
Ausgangsanzeige
(OUT1)
Ausgangsanzeige
(OUT2)
Taste
Taste
Taste
LED-Anzeige
Durchfluss-
regelventil
Rändel-
mutter
Anschluss
Gehäuse
Durchgangs-
bohrung
Dieser  MEMS-Sensorchip  verfügt  über  einen  Sensor  zur  Eingangstemperaturmessung  (Ru)  und  einen 
Sensor  zur  Ausgangstemperaturmessung  (Rd),  die  symmetrisch  um  das  Zentrum  einer  auf  einer 
Membran  befestigten,  platinbeschichteten  Thermistorfolie  (Rh)  angeordnet  sind,  sowie  über  einen 
Umgebungstemperatursensor (Ra) zur Messung der Gastemperatur.
Das Prinzip wird in der Grafik rechts dargestellt. (a) Wenn sich das Gas im statischen Zustand befindet, 
verteilt  sich  die  Temperatur  des  erhitzten  Gases  gleichmäßig  um  Rh,  Ru  und  Rd  haben  denselben 
Widerstand.  (b)  Wenn  Gas  nun  von  links  einströmt,  wird  die  gleichmäßige  Temperaturverteilung  des 
erhitzten Gases aufgehoben, der Widerstand von Rd wird größer als der von Ru.
Die Differenz zwischen den Widerständen von Ru und Rd ist proportional zur Gasfließgeschwindigkeit. Mit 
Widerstandsmessungen  und  -analysen  können  somit  die  Fließrichtung  und  Fließgeschwindigkeit  des 
Gases dargestellt werden. Ra wird zum Abgleich der Gas- und/oder Umgebungstemperatur verwendet.
Ra
Ru Rh Rd
Ra
Ru Rh Rd
Durchfluss
(b) Das Gas fließt von links.
(a) Das Gas ist statisch.
Stückliste
 
   
PFM7
PFM5
leuchtet, wenn Ausgang (OUT1) aktiv ist 
blinkt bei Überstromfehler
Beschreibung
Ausgang (OUT1)
Anzeige (grün)
Gegenstand
leuchtet, wenn Ausgang (OUT2) aktiv ist 
blinkt bei Überstromfehler
Ausgang (OUT2)
Anzeige (rot)
Anzeige von Durchfluss, den Einstellwert und Fehlercode, die Anzeigefarbe kann 
je nach Status des Ausgangs (OUT1) auf rot oder grün eingestellt werden.
LED-Anzeige
Auswahl des Betriebsmodus und Erhöhung der Einstellwerte für EIN und AUS. 
für Umstellung zur Spitzenwertanzeige.
Auswahl des Betriebsmodus und Senken der Einstellwerte für EIN und AUS. 
für Umstellung zur Niedrigstwertanzeige.
Änderungen der Betriebsmodi und Eingabe der Einstellwerte
Die Resetfunktion wird durch gleichzeitiges Drücken der Tasten  und  ausgeführt. Der 
angezeigte Wert wird auf Null zurückgesetzt und Fehlermeldungen gelöscht.
Blinkintervall hängt von Durchflussrate ab. Blinkt bei höherer Durchflussrate 
schneller. Farbe wechselt bei Überschreiten der Nenndurchflussrate auf rot.
Reset
Hauptgehäuse des Durchflussschalters
Gehäuse
Blendmechanismus zur Regulierung des Durchflusses
Durchflussregelventil
Leitungsanschluss
Anschluss
Bestätigung des Durchflusses
Anzeige (grün)
zum Feststellen der Nadel
Rändelmutter
leuchtet, wenn Spannung anliegt
Betriebsanzeige
(grün)
 Taste
 Taste
 Taste
Durchflussanzeige (grün)
Betriebsanzeige
(grün)
Anschlussfitting
O-Ring
O-Ring
Gleichrichtermodul
Gehäuse
Sensorfassung
Sensorchip
Festblende
Dichtung
Filtersieb
Adapter für Anschluss von unten
O-Ring
Durchfluss-
regelventil 
Gehäuse 
B
Nadel
O-Ring
O-Ring
Pos. Beschreibung Anm.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
chemisch vernickelt
Fluorkunststoff beschichtet
Fluorkunststoff beschichtet
chemisch vernickelt
Fluorkunststoff beschichtet
Fluorkunststoff beschichtet
chemisch vernickelt
chemisch vernickelt
Fluorkunststoff beschichtet
Fluorkunststoff beschichtet
Material
Messing
FKM
HNBR
PBT
LCP
Silizium
Messing
FKM
PBT
HNBR
PBT
Messing
Messing
HNBR
HNBR
rostfreier Stahl
304
rostfreier Stahl
304
Digitaler Durchflussschalter mit 2-farbiger Anzeige 
Serie PFM7/PFM5
Druckverlust (Druck: 350 [kPa])
Durchfluss-Kennlinien
PFM710, 510 / für 10 (l/min)
Druckverlust (kPa)
0.35
0.30
0.25
0.20
0.15
0.10
0.05
Durchfluss (
l
/min)
1 2
4 6 8 1
0
0
PFM750, 550 
/ für 50 (l/min)
Druckverlust (kPa)
4
3
2
1
Durchfluss (
l
/min)
5 10 20 30 40 500
PFM711, 511 
/ für 100 (l/min)
PFM725, 525 / für 25 (l/min)
Druckverlust (kPa)
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
Durchfluss (
l
/min)
5 1
0 1
5 2
0 2
5
0
Druckverlust (kPa)
14
12
10
8
6
4
2
Durchfluss (
l
/min)
10 20 40 60 80 1000
PFM725, 525 
/ für 25 (l/min)
PFM711, 511 
/ für 100 (l/min)
Serie PFM7/PFM5
Allgemeine technische Daten
PFM710, 510 
/ für 10 (l/min)
PFM750, 550 
/ für 50 (l/min)
60
40
20
0
5 10 1
5
0
Durchfluss (l/min)
Anzahl der Nadelumdrehungen
750 (kPa)
300 (kPa)
100 (kPa)
Durchfluss (
l
/min)
Anzahl der Nadelumdrehungen
120
100
80
60
40
20
5 10 1
5
0
750 (kPa)
300 (kPa)
100 (kPa)
Durchfluss (
l
/min)
Anzahl der Nadelumdrehungen
30
20
10
5 10 1
5
0
750 (kPa)
300 (kPa)
100 (kPa)
Durchfluss (l/min)
Anzahl der Nadelumdrehungen
15
10
5
0
5 10 1
5
750 (kPa)
300 (kPa)
100 (kPa)










