Datasheet
Reinraumserie
ø12, ø16, ø20, ø25, ø32
ø40, ø50, ø63, ø80, ø100
Reinraumserie
10
11
Ausführung mit Entlüftung
Vakuumausführung
Der Kolbenstangenabschnitt des Antriebs ist mit einer doppelten Dichtungskonstruktion versehen. Ein Entlüftungsanschluss sorgt dafür, dass die
Abluft direkt außerhalb des Reinraums abgeführt wird. Der Zylinder kann deshalb in einem Reinraum der Klasse 100 eingesetzt werden.
10
Kolben-Ø Hub
CQ2B
D(M)Z
Technische Daten
Kolben-Ø (mm)
Funktionsweise
Prüfdruck
max. Betriebsdruck
Dämpfung
Kolbengeschwindigkeit
Montage
doppeltwirkend, Standardkolbenstange
1.5 MPa
1.0 MPa
ohne
Anm.)
30 bis 400 mm/s
Durchgangsbohrung
Anm.) ø12 mit Signalgeber: mit elastischer Dämpfscheibe (Standard)
30 bis 300 mm/s
12 16 20 25 32 40 50 63 80 100
Weitere Informationen zu pneumatischer Ausrüstung für Reinraumanwendungen erhalten Sie über SMC.
10-CQ2 Serie
(doppelte Dichtung)
11-CQ2 Serie
(Einzeldichtung,
Vakuumerzeugung)
Konstruktion
Ein Entlüftungsanschluss zwischen
den beiden Kolbenstangen-
dichtungen sorgt dafür, dass die
Abluft außerhalb des Reinraums
abgelassen wird. Damit konnte das
entstehende Staubvolumen im
Vergleich zu herkömmlichen
Zylindern auf 1/20 reduziert
werden.
Vom Aufbau her ist diese Serie mit der
Serie „10-“ identisch. Bei dieser
Ausführung wurde die äußere
Kolbenstangendichtung entfernt, um
über einen Vakuumanschluss jegliche
Außenluft aus dem Freiraum
zwischen Kolbenstange und
Zylinderkopf/-deckel absaugen zu
können, und so praktisch die externe
Staubbildung auszuschalten. Diese
Serie ist für Anwendungen gedacht,
die einen noch höheren Reinheitsgrad
erfordern als die Serie „10-“.
Vakuumanschluss
(Vakuumerzeugung)
Entlüftungsanschluss
Buchse
Abstreifer
Buchse
Abstreifer
Kupfer- und fluorfreie Serie (für Kathodenstrahlröhren-Produktion)
Um den Einfluss von Kupfer- oder Halogenionen während des Herstellungsprozesses von Kathodenstrahlröhren
auszuschalten, werden dabei keine Bestandteile verwendet, die Kupfer- und Fluormaterialien enthalten.
20
Kolben-Ø Hub
CQ2B
D(C)(M)Z
ø12, ø16, ø20, ø25, ø32
ø40, ø50, ø63, ø80, ø100
kupfer- und fluorfreie Serie
Technische Daten
Kolben-Ø (mm)
Funktionsweise
Prüfdruck
max. Betriebsdruck
Dämpfung
Kolbengeschwindigkeit
Montage
doppeltwirkend, Standardkolbenstange
1.5 MPa
1.0 MPa
ohne/Dämpfscheibe
50 bis 500 mm/s
Durchgangsbohrung/Gewindebohrungen beidseitig
12 16 20 25 32 40 50 63 80 100
Serie CQ2
7