User Manual

01.2002
I
Siemens Building Technologies
Cerberus Division
1 Fire protection concept 1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.1 Our aim 1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.2 Facts 1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.3 Why these high costs? 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.4 What are the likely causes of fire? 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.5 The Cerberus fire protection concept 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2 An introduction to clean room technology 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3 Detailed planning of fire detection systems 4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.1 Aim 4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.2 Critical aspects of planning to be taken into account 4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.3 Typical fire hazards 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.4 Concept for fire detection 6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.5 Stages in the planning of a fire detection system 8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4 Planning examples 10. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.1 Factory for watch microelectronics 10. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.2 Factory for the production of microchips 12. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5 Information on microchip production 21. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5.1 Introduction into the semiconductor industry 21. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6 Detailed information on clean room technology 23. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6.1 Flow control in the clean room 23. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6.2 Air change 26. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6.3 Air speed 26. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6.4 Pressure differences, overpressure, underpressure 26. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6.5 Operating mode of air handling systems 27. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6.6 Air cleanliness classes 27. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
7 Dangerous chemicals and gases 29. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
7.1 Dangerous gases 29. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
7.2 Inert gases 30. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
7.3 Other gases 30. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
7.4 Dangerous acids 31. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
7.5 Solvents 31. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
7.6 Other material 31. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
8 Terms, Definitions 32. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9 Bibliography 33. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Keyword index 34. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .