Datasheet

Leckage-Sensorverstärker K7L-AT50 E-19
Niveauregler
Leckage-Sensorverstärker
K7L-AT50
Sensorverstärker in extrem kleiner Bauform
für die zuverlässige Erfassung einer breiten
Palette von Flüssigkeiten, von Wasser bis hin
zu schwach leitenden Flüssigchemikalien.
Vier Erfassungsbereiche verfügbar.
Erfasst Flüssigkeiten mit einer Impedanz von bis zu 50 M durch
Messung des Widerstands zwischen den Elektroden. Erfassung
von Isopropylalkohol und destilliertem Wasser möglich.
Vier auswählbare Erfassungsbereiche gewährleisten die
Erfassung gemäß der Eigenschaften der jeweiligen Flüssigkeit.
Integrierter Schaltkreis zur Störungsunterdrückung mit Verbin-
dung über 3-adriges Kabel für ein hohes Maß an Störunempfind-
lichkeit und zuverlässige Funktion. (Zum Patent angemeldet)
Sendet Wechselspannungssignale an das Sensorband, wodurch
galvanische Korrosion verhindert wird.
Spannungsversorgungsblock und Sensorband sind isoliert,
sodass mehrere Geräte nebeneinander installiert werden
können.
Für das Sensorband wird Polyethylen verwendet, um eine hohe
Beständigkeit gegen Chemikalien zu erreichen.
CE- und UL/CSA-Zulassung.
Anwendungsbeispiele
Leckerkennung bei Messbädern in CMP-Geräten.
Erkennt auslaufende Flüssigkeiten und vermeidet so Schäden an
Geräten und Unregelmäßigkeiten bei der Reinigung an Halbleiter-
Wafern.
Erkennung von Kondensatbildung und auslaufenden
Flüssigkeiten bei Anlagen zur Herstellung von
Halbleitern
Erkennt Kondensatbildung innerhalb von Reinigungsgeräten sowie
auslaufende Flüssigkeiten.
Leckerkennung an Rohrleitungsverbindungen für
Flüssigchemikalienbehälter
Flüssigkeitslecks an Rohrleitungsverbindungen können erkannt wer-
den, indem das jeweilige Verbindungsstück mit dem Sensorband
umwickelt wird.
Erkennung des Füllstands von Reinigungsflüssigkeit in
Beschichtungsgeräten
Erkennt den Füllstand von reinem Wasser in Beschichtungsbädern.
Hohe Empfindlichkeit gewährleistet äußerst präzise Kontrolle zur
Vermeidung von Unregelmäßigkeiten.

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