Owner manual

TOC - 2
PN 074-609-P1A
Cool Drawer Single and Dual Sensors Operating Manual
Chapter 2
Sensor Installation
2.1 Pre-installation Sensor Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Sensor Installation with a XTC/3™, IC6™ or
Cygnus 2™ Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Sensor Installation with a SQM-160™, SQC-310™, SQM-242™,
IQM-233™, STM-2XM™, or STM-3™ Deposition Controller/Monitor . . . . . 2-2
2.1.3 Sensor Installation with a Q-pod™ or STM-2™ Deposition Monitor . . . . . . 2-3
2.2 General Guidelines. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.2.1 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.2.1.1 Sensor Installation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.3 Bending Tubes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.4 Installing the Standard and Right Angle Sensors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.5 Sensor Shutter Function Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.6 Shutter Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.6.1 Dual Sensor Head Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.6.2 Single Sensor Head Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
Chapter 3
Installation of the Solenoid Valve
3.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Installation with 2.54 cm (1 in.) Bolts Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.3 Installation with 7 cm (2-3/4 in.) Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.4 Electrical and Pneumatic Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.4.1 Electrical. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.5 Solenoid Valve Drawing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Chapter 4
Troubleshooting and Maintenance
4.1 Troubleshooting Guide. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.1.2.1 Measurement System Diagnostic Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.1.2.2 Feedthrough Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.1.2.3 System Diagnostics Pass But Crystal Fail Message Remains. . . . . . . . . . . 4-4
4.2 Symptom, Cause, Remedy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.3 General Precautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.3.1 Handle the Crystal with Care . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.3.2 Maintain the Temperature of the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.3.3 Use the Optimum Crystal Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.3.4 Crystal Concerns when Opening the Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8