Instruction manual

Contents
Important information ............ .. ............................................. .. ... .... .. ...... .... .. ... .. ... ...... ...... .. ..... 1
For safe
operation ........................... .. .............................................•........ .. .............................. 2
Contents .............................................. .. ......................................................... .. ........ .. ............... .. 7
1. Before use .. ................................................................. .. ....................................................... .. . 8
1.1
Check the product .............................................................. .. ............................................ 8
2. Name and structure of each section .................................................................................. 11
3. Installation .......................... .. ................................................... .. ............ .. ................ .. . ... ........ 12
3.1 Wiring ....... ... .. ........ .. .................. .. ... .. ...... .. ...................... ... ...... ... ... .. .......... .. ..................... 13
3.2 Test operation .. . .... .. ................ .. .. .. .. .... ........... .. ... .. .. ........ ... .... ............. .... ... . .. . ... . ... .. ........ 17
3.3
Connection to vacuum system (chamber) ............................ .... ......... .. ...................... .. 18
4. Operation ............................................................................................................................... 19
4.1 Standard operation ......................................................................................................... 21
4.1.1 Start-up ...................................................................................................................... 21
4.1.2 Shut-down ...... ... . .. ..................... .. ............ ... . .... ..... .. ........ ... .. .. ... .. ........ .. ...... .. . .. .......... 21
4.2 Air-flush operation .................. .. ..................................... .. ......................................... .. .... 22
4.2.1 Preparation ...................................................................... .. ......................... .. ............. 22
4.2.2
Startup and shut-down ........................................ .. .................................................. 23
4.2.3 When returning to standard operation .............. .. ........................................ ... ....... 23
5. Maintenance and inspection .. .... .. ....... ... .... .. .......... .. .. ....... .. ............................. .. ................. 25
5.1 Daily maintenance and inspection ................... .. ...................•••...... .. ............................. 25
5.2 Maintenance ........................
.. .................................. .. ............................ .. ...................... .. 26
6. Problems and remedies .. ............................................. .. . .. .. ................. .. ............... .. ............. 27
7. Speci
fications ........ .. ............................... .. .. ...... .. ........ .. ...... .. .......................... .. .................. .. 28
7.1 Specifications ......... .. .................................... .. ....................... .. ................ .. ............ .. ........ 28
7. 1.1 ISP-250C .... .. ... ........ .. .... .. ................................ .. ................................... .. .................... 28
7.1.2ISP-500C .. .. ..... ... . ... .. ............................ .. .......... .. . ... ....... ...... ..... .. ..... .. . .. ........ ... . .. ... ..... 29
7.2 Dimens i ons .... .. ........................... .. .............. ... ....................... .... ............. .. .. .... .. . .. ..... .... .... 30
7. 2.1 ISP-250C ...................... .. ...............•................................................... ... .... .. ................ 30
7.2.2 ISP-500C .....................................................•.............................................................. 30
7.3 Performance data ....................................................... .. .. .. .............. ... .... .. ........... .. ........... 31
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