User`s guide

高電圧感電注意
Agilent B1500 のフォース、ガード、センス端子には、危険電圧が出力されることが
あります（HPSMU の場合は最大± 200 Vdc、MPSMU
/HRSMU の場合は最大± 100
Vdc）。感電事故防止のため、必ず以下の事柄を守ってください。
•3極電源ケーブルを使用して Agilent
B1500 を設置すること。
• Agilent 16442 テスト・フィクスチャ以外のフィクスチャ、あるいはプローバを
使用する場合には、シールド・ボックスにインターロック回路を接続すること。
インターロック回路とは、シールド・ボックスの蓋を開けた時に Agilent
B1500
の Interlock 端子を開放にすることができる回路のことをいいます。
• インターロック機能が正常であることを定期的に確認すること。
• フォース、ガード、センス端子に繋がる接続部に触れる前には、測定器の電源
を切ること。また、測定系にキャパシタが接続されている場合は、キャパシタ
を放電すること。電源を切らない場合は、以下の事項を全て実施すること。
• Stopキーを押してMeasurementインジケータが消灯したことを確認すること。
• 高電圧警告（High Voltage）インジケータが消灯していることを確認するこ
と。
• シールド・ボックスの蓋を開ける（Interlock 端子を開放する）こと。
• キャパシタが SMU に接続されているならば、キャパシタを放電すること。
• 周囲のほかの作業者に対しても、高電圧危険に対する注意を徹底すること。